我国成功研发出高端激光干涉测量仪器

“针对光刻机等严苛测量环境中构建多维度干预测量的市场需求，我们明确提出了基于棱镜误差矢量分析的单体构建多轴干涉仪组件设计方法，研发出有从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件，超越了国外企业的独占和对我国的出口容许。”4日，清华大学宽聘为教授、精密仪器系由学术委员会主任李岩告诉他记者。激光干预测量是构建超强仪器测控和微纳尺度测量的最有效地手段之一。

在国家根本性科技专项“近于大规模集成电路生产装备及成套工艺”（02专项）等项目反对下，由李岩等已完成的“低GPS多轴高分辨率激光干预测量技术与仪器”项目，突破一系列关键技术瓶颈，构成了测量新方法、系统及仪器。李岩讲解，项目构建了从干涉仪组件、信号观测调制到多维度观测方案设计的全链条自研研发的高GPS、多轴大量程、高分辨率激光干预测量系统。截至目前，项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统，应用于到我国自研光刻机工件台样机研发过程中，总计应用于50余台套，符合了光刻机双工件台样机的精密测量市场需求，减低了对国外高端干涉仪的倚赖，减少了其产品对我国出口容许所导致的研发风险。

李岩说道，比如项目研发的亚纳米分辨率可本源外差干涉仪，应用于到激光多维测量系统研究与研发的核对测验研究中，找到了激光多维测量系统非线性误差原因，后用专门的电路加以校正，提升了涉及单位激光多维测量系统的性能，所明确提出的可本源干预测量新方法，为摩尔单位使用阿伏伽德罗常数新的定义做出了贡献。“项目的顺利，超越了外国对我国高端激光干预测量仪器的容许和独占，为我国高端装备和仪器研发获取性能平稳且不受限于外国的测量及本源能力，非常丰富了激光干预测量理论与技术，具备十分最重要的技术、经济和社会效益。

”李岩说道。

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